在高純水的生產(chǎn)過(guò)程中，水中的陰、陽(yáng)離子可用電滲析法、反滲透法及離子交換樹脂技術(shù)等去除；水中的顆粒一般可用超過(guò)濾、膜過(guò)濾等技術(shù)去除；水中的，目前國(guó)內(nèi)多采用加藥或紫外燈照射或臭氧的方法去除；水中的TOC則一般用活性炭、反滲透處理。在高純水應(yīng)用的領(lǐng)域中，水的純度直接關(guān)系到器件的性能、可靠性、閾值電壓，導(dǎo)致低擊穿，產(chǎn)生缺陷，還影響材料的少子壽命，因此高純水要求具有相當(dāng)高的純度和精度。