臺階儀

（ 厚度47nm光柵標準樣品,三次重復測量結果(無任何減噪修正，原始數據輸出）

NanoMap-PS是一款專門為nm級薄膜測量研發(fā)的無需防震臺即可測量的接觸式臺階儀

AFM同款位移傳感器，超高精度

壓電陶瓷驅動掃描，無內源振動

自集成主動反饋式防震系統(tǒng)

真正無需額外輔助防震系統(tǒng)，實現(xiàn)高重復性納米測量

納米量級科學研究的必備產品

NanoMap-PS 臺階儀可以應用在半導體，光伏/太陽能，光電子，化合物半導體，OLED，生物醫(yī)藥，PCB封裝等領域的薄膜厚度，臺階高度，粗糙度（Ra,Rq,Rmax...），劃痕深度，磨損深度，薄膜應力（曲定量率半徑法）等定量測量方面。其高精度，高重復性，自動探索樣品表面，自動測量深受廣大客戶歡迎。

測量表面可以覆蓋多種材料表面：金屬材料、陶瓷材料、生物材料、聚合物材料等等，對于植物表面，生物材料，聚合物表面，光刻膠等柔軟表面也可測量無須擔心劃傷或破壞。設備傳感器精度高，穩(wěn)定性好。熱噪聲是同類產品的。垂直分辨率可達0.1nm 。 可測表面，包括透明、金屬材料，半透明、高漫反射，低反射率、拋光、粗糙材料，金屬、玻璃、木頭、合成材料、光學材料、塑料、涂層、涂料、漆、紙、皮膚、頭發(fā)、牙齒等；

AEP的技術日新月異。 欲了解的產品性能參數，請與我們聯(lián)系。

主要參數:

垂直分辨率 0.1nm

垂直量程 1000um

探針接觸力 0.03mg-100mg

平臺范圍 直徑150毫米（可選200毫米或更大）

高清圖像 4級放大，彩色CCD

成像光源 雙長壽命強光LED

金剛石探針 0.5um 到 25um 可選