微小氣體流量計(jì)，小口徑氣體流量計(jì)，小流量氣體流量計(jì)，微型氣體流量計(jì)，廣東微小氣體質(zhì)量流量計(jì)，，廣州微型氣體流量計(jì)
產(chǎn)品簡(jiǎn)介：
FS4001系列小流量氣體質(zhì)量流量傳感器是專門(mén)為各類小流量氣體的測(cè)量和過(guò)程控制而設(shè)計(jì)的。這一系列傳感器均采用本公司自主研發(fā)的微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）流量傳感芯片來(lái)制作，適用于各類清潔氣體。獨(dú)特的封裝技術(shù)使之可用于各類管徑，成本低、易安裝、不需要溫度壓力補(bǔ)償，可替代容積式或壓差式的傳統(tǒng)流量傳感器。
產(chǎn)品特點(diǎn)：
- 傳感器靈敏度高,有極小的始動(dòng)流量
- 傳感器芯片采用熱質(zhì)量流量計(jì)量,無(wú)需溫度壓力補(bǔ)償,保證了傳
- 感器的高精度計(jì)量
- 在單個(gè)芯片上實(shí)現(xiàn)了多傳感器集成,使傳感器的量程比大大提高
- 傳感器的零點(diǎn)穩(wěn)定度高
- 全量程高穩(wěn)定性
- 全量程高度和優(yōu)良的重復(fù)性
- 低功耗
- 低壓損
- 響應(yīng)時(shí)間快
主要參數(shù)：
性能參數(shù)
FS4001
單位
通 徑
1.0
1.8
mm
流量
30, 100, 200
500, 1000
SLPM
量程比
>100：1
精 度
±(1.5+0.2FS)
%
重復(fù)性
0.25
%讀數(shù)
零點(diǎn)輸出飄移
±30
mV
輸出飄移
±0.12
%/oC
響應(yīng)時(shí)間
4, 8, 16, 33 , 65 , 131
mses
工作電源