潔凈技術,即玷污控制(Contamination Control)技術。指的是:對象(產品、人及動物)在被加工、處置、、防護及實驗等過程中,對其所處環(huán)境內玷污物(影響對象的加工、處置、等質量、合格率或成功率的物質)進行控制的技術。 玷污物的污染包含對產品的損害和對人的危害。 污染包含直接污染和交叉污染(醫(yī)療范疇謂之感染)。 人是污染源的發(fā)源地:靜坐時,人體每分鐘散發(fā)10萬個粒子(?!?.5μm); 每天脫落6~13克表皮細胞,一年脫落人體細胞約3.5公斤。 半導體潔凈室內微污染來源,經測試,作業(yè)人員占80% 。
離心分離攔截液相霧 氣:在氣流中由不同的工作件定向收集介質對象,不同的介質選用合適的過濾結構和材質。 個性濾網攔截氣溶膠粒子:在氣流結構方面改良固有結構減少阻力提率。各風道口表面選用美國杜邦公司生產的F4進行處理,使機器過濾精度高壽命長。
通過對較大固體、粉塵顆粒在前段進行徹底的攔截,大大地減輕了后端多級過濾的壓力。二次過濾氣相攔截:高壓碰撞離心分離攔截液相霧氣。 高壓碰撞技術:氣溶膠 粒子被粗效過濾件收集,細小的顆粒有逐級濾材完成。
車間凈化工作原理為當控制器接通電源時,油霧分離器口產生強大的靜壓迫使油霧被定向吸入油霧分離器內。在油霧分離器內風輪的作用下發(fā)生碰撞,使微小的顆粒集合成能被控制的小顆粒,在吸霧材料的阻擋下實現空氣與水的分離。