三氯氫硅（SiHCl3 ）TCS 化學式 SiHCl3 中文名稱 三氯氫硅 英文名稱 Trichlorosilane CAS No. 10025-78-2 分子量 135.43 充裝系數(shù) 250kg；20000kg 應用 多晶硅、單晶硅原料、外延成長、硅液、硅油、化學氣相淀積、硅酮化合物制造、電子氣。 產品規(guī)格 ≥99.95% 百科：，TCS。甲硅烷的三氯代物。為一種易流動的無色液體，密度1.34克/厘米3 ；能溶于苯、二硫化碳。 三氯硅烷在常溫常壓下為具有刺激性氯化氫氣味易流動易揮發(fā)的無色透明液體。在空氣中極易燃燒，在-18℃以下也有著火的危險，遇明火則強烈燃燒，燃燒時發(fā)出紅色火焰和白色煙，生成SiO2．HCl和Cl2。