濕度過高產(chǎn)生的問題更多。相對(duì)濕度超過55時(shí)，冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露，如果發(fā)生在裝置或電路中，就會(huì)引起各種事故。相對(duì)濕度在50時(shí)易生銹。此外，濕度太高時(shí)將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面耐難以清除。相對(duì)濕度越高,粘附的難去掉，但當(dāng)相對(duì)濕度低于30時(shí)，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面，同時(shí)大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。對(duì)于硅片生產(chǎn)佳溫度范圍為35—45。

潔凈室噪聲標(biāo)準(zhǔn)一般均嚴(yán)于保護(hù)健康的標(biāo)準(zhǔn)，目的在于保障操作正常進(jìn)行，滿足必要的談話聯(lián)系及良好的工作環(huán)境。因此衡量潔凈室的噪聲主要指標(biāo)是：

1．煩惱的效應(yīng)由于噪聲，使人感到不安寧而產(chǎn)生煩惱情緒，一般分為安靜、很安靜、較安靜、稍嫌吵鬧，比較吵鬧和吵鬧7個(gè)煩惱等級(jí)。凡反應(yīng)水平屬于很吵鬧和吵鬧者，即為高煩惱，高煩惱人數(shù)在總?cè)藬?shù)中的百分比即為高煩惱率，層流罩。

2．對(duì)工作效率的影響這主要看三方面的反應(yīng)水平，這三個(gè)方面是：集中精神動(dòng)作準(zhǔn)確性工作速度

3．對(duì)綜合通訊的干擾。

無塵室與擴(kuò)散的效果類似，當(dāng)過濾材料帶靜電時(shí)，粉塵在濾材中滯留的時(shí)間越長(zhǎng)，被材料吸附的可能性就越大，改變風(fēng)速，帶靜電材料的過濾效率會(huì)明顯改變，如果你材料上有靜電，進(jìn)行空調(diào)系統(tǒng)設(shè)計(jì)時(shí)就應(yīng)該盡可能地減少通過每只過濾器的風(fēng)量。

對(duì)于以慣性機(jī)理為主的大顆粒粉塵，根據(jù)傳統(tǒng)理論，風(fēng)速降低后，粉塵與纖維碰撞的幾率會(huì)減少，過濾效率會(huì)隨之降低，但在實(shí)踐中這種影響并不明顯，因?yàn)轱L(fēng)速小了，纖維對(duì)粉塵的反彈力也小了，粉塵更容易被粘住。

無塵車間風(fēng)管的組對(duì)、連接長(zhǎng)度應(yīng)根據(jù)現(xiàn)場(chǎng)的施工現(xiàn)場(chǎng)的情況和吊裝設(shè)備而進(jìn)行確定。無塵車間風(fēng)管連接采用的密封材料應(yīng)滿足系統(tǒng)功能的技術(shù)條件。

例如，防、排煙系統(tǒng)或輸送溫度高于70℃的空氣或煙氣的無塵車間，應(yīng)采用耐熱橡膠板或不燃的耐溫、防火材料；輸送含有腐蝕介質(zhì)的氣體，應(yīng)采用耐酸橡膠板或軟聚氯乙烯板。