濕度過高產(chǎn)生的問題更多。相對濕度超過55時，冷卻水管壁上會結(jié)露，如果發(fā)生在裝置或電路中，就會引起各種事故。相對濕度在50時易生銹。此外，濕度太高時將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面耐難以清除。相對濕度越高,粘附的難去掉，但當(dāng)相對濕度低于30時，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面，同時大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。對于硅片生產(chǎn)佳溫度范圍為35—45。

凈化工作臺原理的潔凈環(huán)境是在特定的空間內(nèi)，潔凈空氣(進(jìn)濾空氣)按設(shè)定的方向流動而形成的。以氣流方向來分，現(xiàn)有的超凈工作臺可分為垂直式，由內(nèi)向外式以及側(cè)向式。從操作質(zhì)量和對環(huán)境的影響來考慮，以垂直式較優(yōu)越。由供氣濾板提供的潔凈空氣以一個特定的速度下降通過操作區(qū)，在大約操作區(qū)的中間分開，由前端空氣吸入孔和后吸氣窗吸走，在操作區(qū)下部前后部吸入的空氣混合在一起，并由鼓風(fēng)機(jī)泵入后正壓區(qū)，在機(jī)器的上部，30的氣體通過排氣濾板從頂部排出，大約70的氣體通過供氧濾板重新進(jìn)入操作區(qū)。為補(bǔ)充排氣口排出的空氣，同體積的空氣通過操作口從房間空氣中得到補(bǔ)充。這些空氣不會進(jìn)入操作區(qū)，只是形成一個空氣屏障。

潔凈室的清掃、。

1.潔凈室的清掃一般須在生產(chǎn)工藝結(jié)束后進(jìn)行;如有必要在生產(chǎn)前清掃，則工藝生產(chǎn)在凈化空調(diào)系統(tǒng)開機(jī)運(yùn)行時間達(dá)到潔凈要求后方可開始進(jìn)行。為防止交叉污染，清掃潔凈廠房設(shè)施均應(yīng)按產(chǎn)品特點、工序要求、潔凈度等級不同分別專用。

清掃工具一般采用集中固定式和便攜移動式真空清掃設(shè)備。如不具備上述條件，也可采用不掉纖維的材料如絲光毛巾、尼龍布進(jìn)行擦拭，一般每天1次或數(shù)次。

工作臺及工器具清掃一般每天一次;10～1000級廠房墻壁、地面清掃，一般每周一次，1萬～10萬級每月一次。凈化空調(diào)系統(tǒng)每年宜清洗1～2次，并委托專門清掃人員進(jìn)行。

無塵車間風(fēng)管穿過需要封閉的防火防爆樓板或墻體是采取的措施。應(yīng)設(shè)鋼板厚度不小于1.6mm的預(yù)埋管或防護(hù)套管，無塵車間風(fēng)管與防護(hù)套管之間應(yīng)采用不燃柔性材料封堵。無塵車間風(fēng)管穿越建筑物變形縫空間時，應(yīng)設(shè)置柔性短管，無塵車間風(fēng)管穿越建筑物變形縫墻體時，應(yīng)設(shè)置鋼制套管，無塵車間風(fēng)管與套管之間應(yīng)采用柔性防水材料填充密實。