潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來確定，但在滿足工藝要求的條件下，應(yīng)考慮到人的舒服感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現(xiàn)了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴(yán)的趨勢。

具體工藝對溫度的要求以后還要列舉，但作為總的原則看，由于加工精度越來越精細(xì)，所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100 um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以有±0.1度的恒溫，同時要求濕度值一般較低，因為人出汗以后，對產(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間，這種車間不宜超過25度。

潔凈室內(nèi)靜電導(dǎo)致的事故有以下幾方面；

1．靜電電引起的靜電電擊，引起人和恐懼感，并可造成二次傷害(例如人因受電擊而摔倒，由摔倒又致傷)；

2-靜電放電引起的放電電流，可導(dǎo)致諸如半導(dǎo)體元件等破壞和誤動作，例如將50塊P- MOS電路放在塑料袋內(nèi)，搖晃數(shù)次后，與非門柵嚴(yán)重?fù)舸┱哂?9塊，失效率競達(dá)78，這是因為半導(dǎo)體器件對靜電放電十分靈敏；

3．靜電放電產(chǎn)生的電磁波可導(dǎo)致電子儀器和裝置的雜音和誤動作；

4．靜電放電的發(fā)光可導(dǎo)致照像肢片等感光破壞；

5．靜電的力學(xué)現(xiàn)象可導(dǎo)致篩孔被粉塵堵塞，紡紗線紛亂，印刷品深淺不均和制品污染；凈化工程

6．靜電放電引起的危險的災(zāi)害是成為可燃物的火源井引起爆炸，例如國外文獻(xiàn)統(tǒng)計，在手術(shù)室使用爆炸性麻醉劑的86000次中，爆炸的36次，其中由靜電引起的達(dá)21次。

凈化工作臺原理的潔凈環(huán)境是在特定的空間內(nèi)，潔凈空氣(進(jìn)濾空氣)按設(shè)定的方向流動而形成的。以氣流方向來分，現(xiàn)有的超凈工作臺可分為垂直式，由內(nèi)向外式以及側(cè)向式。從操作質(zhì)量和對環(huán)境的影響來考慮，以垂直式較優(yōu)越。由供氣濾板提供的潔凈空氣以一個特定的速度下降通過操作區(qū)，在大約操作區(qū)的中間分開，由前端空氣吸入孔和后吸氣窗吸走，在操作區(qū)下部前后部吸入的空氣混合在一起，并由鼓風(fēng)機(jī)泵入后正壓區(qū)，在機(jī)器的上部，30的氣體通過排氣濾板從頂部排出，大約70的氣體通過供氧濾板重新進(jìn)入操作區(qū)。為補充排氣口排出的空氣，同體積的空氣通過操作口從房間空氣中得到補充。這些空氣不會進(jìn)入操作區(qū)，只是形成一個空氣屏障。

無塵室在絕大多數(shù)情況下，運行中風(fēng)速越低，過濾器的使用效果越好。主要是因為小粒徑粉的擴(kuò)散作用明顯，風(fēng)速低了，氣流在過濾材料中滯留的時間就長一些，粉塵就有更多的機(jī)會撞擊障礙物，因此過濾效率就高，經(jīng)驗表明，對于過濾器，風(fēng)速減少一半，粉塵的透過率會降低近一個數(shù)量級，風(fēng)速增加一倍，透過率會增加一個數(shù)量級。