CMP技術(shù)綜合了化學(xué)和機(jī)械拋光的優(yōu)勢(shì)：?jiǎn)渭兊幕瘜W(xué)拋光，拋光速率較快，表面光潔度高，損傷低，平整性好，但表面平整度和平行度差，拋光后表面一致性差；單純的機(jī)械拋光表面一致性好，表面平整度高，但表面光潔度差，損傷層深。化學(xué)機(jī)械拋光可以獲得較為平整的表面，又可以得到較高的拋光速率，得到的平整度比其他方法高兩個(gè)數(shù)量級(jí)，是能夠?qū)崿F(xiàn)全局平面化的有效方法。

硅片的化學(xué)機(jī)械拋光過(guò)程是以化學(xué)反應(yīng)為主的機(jī)械拋光過(guò)程，要獲得質(zhì)量好的拋光片，必須使拋光過(guò)程中的化學(xué)腐蝕作用與機(jī)械磨削作用達(dá)到一種平衡。如果化學(xué)腐蝕作用大于機(jī)械拋光作用，則拋光片表面產(chǎn)生腐蝕坑、桔皮狀波紋。如果機(jī)械磨削作用大于化學(xué)腐蝕作用，則表面產(chǎn)生高損傷層。

氧化鋁和碳化硅拋光液 是以超細(xì)氧化鋁和碳化硅微粉為磨料的拋光液，主要成分是微米或亞微米級(jí)的磨料。 主要用于高精密光學(xué)儀器、硬盤(pán)基板、磁頭、陶瓷、光纖連接器等方面的研磨和拋光。

在硬化地坪施工進(jìn)程中，究竟要不要用拋光液進(jìn)行拋光處理呢？在答復(fù)這個(gè)問(wèn)題之前，咱們先要了解什么是地坪拋光液，地坪拋光液能起到什么作用，才能對(duì)這個(gè)硬化地坪需不需要拋光液的問(wèn)題進(jìn)行客觀的剖析。地坪拋光液是一種用來(lái)進(jìn)步硬化地坪亮度的產(chǎn)品，也叫做地坪光亮劑、地坪亮光劑、地坪增亮劑、地坪拋光機(jī)等等，出產(chǎn)的濃縮型浸透地坪光亮劑，是采用了源自德國(guó)的特種高分子材料，具有抗磨損、防刮傷、防刻劃的功用。