潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來確定，但在滿足工藝要求的條件下，應考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現(xiàn)了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴的趨勢。具體工藝對溫度的要求以后還要列舉，但作為總的原則看，由于加工精度越來越精細，所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在大規(guī)模集成電路生產的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100 um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以必須有±0.1度的恒溫，同時要求濕度值一般較低，因為人出汗以后，對產品將有污染，特別是怕鈉的半導體車間，這種車間溫度不宜超過25度，濕度過高產生的問題更多。相對濕度超過55%時，冷卻水管壁上會結露，如果發(fā)生在精密裝置或電路中，就會引起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。此外，濕度太高時將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學吸附在表面難以清除。相對濕度越高,粘附的越難去掉，但當相對濕度低于30%時，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面，同時大量半導體器件容易發(fā)生擊穿。對于硅片生產濕度范圍為35—45%。

電子廠房無塵車間施工，清潔要求

（1）清潔潔凈室內的墻時應使用潔凈室無塵布；

（2）用90%去離子水和10%的異丙醇配置清潔劑；

（3）使用已獲批準的潔凈室專用去污劑；

（4）每天都要檢查車間和整備間的垃圾箱，并及時清走。

（5）每塊地板都要吸塵。每次交接班時，都應在地圖上標明工作完成情況，例如在哪結束從哪開始。

（6）清潔潔凈室的地面應使用專用拖把。

（7）在潔凈室里吸塵應使用帶有過濾器的專用真空吸塵器。

電子行業(yè)生產工藝過程產生的有毒有害氣體種類繁多，且量也大，所以需要的排風量和新風量也大。新排風的節(jié)能措施也是行業(yè)特點之一，排放前要做處理，使排風負荷環(huán)保要求。

電子行業(yè)生產工藝有抗靜電、抗微振的要求，并且大宗氣體和特種氣體種類多，對純度和潔凈度要求高：

1.電子制造廠萬級潔凈室內的噪聲級(空態(tài))：不應大于65dB(A)

2.電子制造廠潔凈室垂直流潔凈室滿布比不應小于60%，水平單向流潔凈室不應小于40%，否則就是局部單向流了。

3.電子制造廠潔凈室與室外的靜壓差不應小于10Pa，不同空氣潔凈度的潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的靜壓差不應小于5Pa

4.電子制造行業(yè)萬級潔凈室內的新鮮空氣量應取下列二項中的值：

5.補償室內排風量和保持室內正壓值所需的新鮮空氣量之和。

6.保證供給潔凈室內每人每小時的新鮮空氣量不小于40m3。

無菌室內空氣置換稀釋污染系統(tǒng)設計時應注意：潔凈空氣供應的體積應足以抵消空間中不斷產生的微粒數(shù)，以此維持工藝操作的基本條件要求；室內空間供應的空氣應比普通維持條件下空氣更清潔；要求混合供應的清潔空氣應滿足去除房間內含有微粒的空氣，以達到室內空氣置換稀釋的作用。

微生物檢驗用器材及場所必須進行或處理，不同的對象采用不同的處理方法 1． 高壓蒸汽: 工作服、口罩、稀釋液等，置高壓鍋內，一般采用121℃半小時,當然不同的培養(yǎng)基有不同的要求,應分別處理 2． 火焰：接種針、接種環(huán)等可直接火焰 3． 高溫干燥： 各種玻璃器皿、注射器、吸管等，置于燥箱中160℃2小時 4． 一 般: 無菌室內的凳、工作臺、試管架、天平、待檢物容器或包裝均無法進行，必須用其他方法進行處理，采用2%石炭酸或來蘇兒水溶液擦拭，工作人員的手也用此法進行 5． 空氣的： 開啟紫外燈照射30—60分鐘 即可。