單向流潔凈室：?jiǎn)蜗蛄鳚崈羰覛饬鞯奶卣魇橇骶€平行，以單一方向流動(dòng)，并且在斷截面上風(fēng)速一致，有垂直單向潔凈室，準(zhǔn)垂直單向流，水平單向流潔凈室等。

矢量潔凈室：在房間的側(cè)上角送風(fēng)，采用扇形過(guò)濾器，也可以用普通過(guò)濾器配扇形送風(fēng)口，在另一側(cè)的下部設(shè)回風(fēng)口，房間的高長(zhǎng)比一般在0.5~1之間為宜。這種潔凈室也可以達(dá)到5級(jí)（100級(jí)）潔凈度。

在生產(chǎn)工藝平面區(qū)劃時(shí)盡可能把相同級(jí)別的潔凈房間布置在一起，把潔凈度要求高的工序設(shè)置在上風(fēng)側(cè)，把產(chǎn)生粉灰、有毒、有害、易燃、易爆廢氣的工藝設(shè)備、容器盡可能放在潔凈區(qū)外，若必須放在潔凈區(qū)內(nèi)時(shí)應(yīng)盡量采取密閉措施以減少粉塵和廢氣的排放量。

潔凈技術(shù)，即玷污控制(Contamination Control)技術(shù)。指的是：對(duì)象(產(chǎn)品、人及動(dòng)物)在被加工、處置、、防護(hù)及實(shí)驗(yàn)等過(guò)程中，對(duì)其所處環(huán)境內(nèi)玷污物(影響對(duì)象的加工、處置、等質(zhì)量、合格率或成功率的物質(zhì))進(jìn)行控制的技術(shù)。