就空氣潔凈而言，主要有以下幾項(xiàng)具體措施 [1] ：

對(duì)潔凈室的送風(fēng)必須是有很高潔凈度的空氣。因此，必須選用或亞過(guò)濾器（潔凈級(jí)別低時(shí)）作為終端過(guò)濾器，對(duì)進(jìn)入潔凈室的空氣，進(jìn)行后一級(jí)過(guò)濾。為保護(hù)終端過(guò)濾器和延長(zhǎng)其壽命，必須使空氣先經(jīng)中效過(guò)濾器進(jìn)行過(guò)濾。

一般情況下，凈化空調(diào)系統(tǒng)的能耗比一般空調(diào)系統(tǒng)的能耗大的多。其原因是兩者之間的負(fù)荷特點(diǎn)不同。就潔凈室，尤其是半導(dǎo)體工業(yè)潔凈室而言，其負(fù)荷特點(diǎn)是：由于排風(fēng)量大造成新風(fēng)量大，故新風(fēng)處理所需冷量消耗大；送風(fēng)量大，輸送動(dòng)力消耗大，風(fēng)機(jī)管道溫升高；生產(chǎn)設(shè)備的發(fā)熱量大，消耗冷量大。

潔凈車(chē)間，亦稱(chēng)潔凈室、無(wú)塵車(chē)間、無(wú)塵室或清凈室。潔凈室的主要功能為室內(nèi)污染控制，沒(méi)有潔凈室，污染敏感零件不可能批量生產(chǎn)。在FED-STD-2里面，潔凈室被定義為具備空氣過(guò)濾、分配、優(yōu)化、構(gòu)造材料和裝置的房間，其中特定的規(guī)則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度，從而達(dá)到適當(dāng)?shù)奈⒘崈舳燃?jí)別。

十萬(wàn)級(jí)GMP潔凈車(chē)間對(duì)不同的對(duì)象，有不同的玷污物控制要求。

計(jì)有：

⑴空氣中懸浮微粒(非生物性及生物性)

⑵空氣中懸浮分子玷污物

⑶病毒

⑷微振

⑸靜電

⑹生產(chǎn)工藝介質(zhì)：高純工業(yè)氣體、特種氣體、高純水及高純化學(xué)品等的有關(guān)雜質(zhì)。