產品用途：

產品專業(yè)性：

PECVD系統(tǒng)是借助射頻使含有薄膜組成原子的氣體電離，在局部形成等離子體，而等離子體化學活性很強，很容易發(fā)生反應，在基片上沉積出所期望的薄膜。

產品組成：

PECVD系統(tǒng)配置：

1.1200度開啟式雙溫區(qū)真空管式爐

2.等離子射頻電源

3.多路質量流量控制系統(tǒng)

4.真空系統(tǒng)（可選配中真空或高真空）

產品特點：

生長溫度低；沉積速率快；成膜質量好，適用范圍廣，設備簡單。

天津中環(huán)電爐股份有限公司

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