由于硅-鹵鍵的特殊活潑性，由三甲基氯硅烷出發(fā)，可以合成一系列含硅-官能團結構的有機硅化合物，如三甲基烷氧基硅烷、六甲基二硅氧烷、六甲基二硅氮烷、三甲基氰基硅烷等
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