在潔凈廠房的設(shè)計中,建筑規(guī)劃設(shè)計是一個關(guān)鍵的構(gòu)成部分。潔凈廠房建筑規(guī)劃設(shè)計要綜合性考量產(chǎn)品生產(chǎn)工藝流程標(biāo)準(zhǔn)及生產(chǎn)線設(shè)備特性、凈化空調(diào)系統(tǒng)和室內(nèi)氣流流型及其多種管線系統(tǒng)分配等因素,開展建筑物的平面和剖視圖設(shè)計。
潔凈廠房建筑方式可分為土建結(jié)構(gòu)和裝配式兩種,其中普遍采用裝配式。 裝配式潔凈廠房系統(tǒng)主要由初,中,高三級空氣過濾的空調(diào)送風(fēng)回風(fēng)和 排風(fēng)系統(tǒng);動力及照明系統(tǒng);工作環(huán)境參數(shù)的監(jiān)測報警消防和通訊系統(tǒng);人流和物流系統(tǒng);工藝管路系統(tǒng);維護(hù)結(jié)構(gòu)及靜電地面處理等各方面所要求的實施內(nèi)容組成,形成空調(diào)凈化系統(tǒng)工程所包含的整個設(shè)備和器材的配套和建筑安裝內(nèi)容。
每立方米將小于0.3微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個以下,就達(dá)到了國際無塵標(biāo)準(zhǔn)的A級。目前應(yīng)用在芯片級生產(chǎn)加工的無塵標(biāo)準(zhǔn)對于灰塵的要求高于A級,這樣的高標(biāo)主要被應(yīng)用在一些等級較高芯片生產(chǎn)上。5μm及以下的微塵數(shù)量被嚴(yán)格控制在每立方米1000個以內(nèi),這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級別的凈化車間。
與普通工作車間相比,潔凈廠房較為突出的特點就是無塵、潔凈度高、不存在任何污染物。潔凈廠房是一個應(yīng)用行業(yè)非常廣泛的基礎(chǔ)性配套產(chǎn)業(yè),它廣泛應(yīng)用于電子、微電子、光學(xué)、儀器儀表、精密制造、航空航天、生物、醫(yī)療、醫(yī)藥、日化、食品飲料等各類工廠和實驗室。并根據(jù)行業(yè)的精密與無塵要求,等級差別也較大。