對于如凈化車間的空調(diào)系統(tǒng)的加濕問題而言，凈化車間常用的加濕方法有很多種，有淋水、濕膜、高壓噴霧和超聲波等水加濕，這些加濕方法屬等焓加濕過程。而噴蒸汽、噴干蒸汽和電極(電熱)加濕是向空調(diào)送風(fēng)中噴蒸汽，其加濕方法屬等溫加濕過程。

大部分潔凈室、空氣凈化工程、凈化廠房比如電子凈化車間都有嚴(yán)格的恒溫、恒濕的要求，不僅對廠房內(nèi)的溫、濕度有嚴(yán)格的要求，而且對溫度和相對濕度的波動(dòng)范圍也有嚴(yán)格的要求。因此，在凈化空調(diào)系統(tǒng)的空氣處理上要采取相應(yīng)的措施。

萬級凈化車間檢測標(biāo)準(zhǔn)： 氣流速度及其均勻度檢測，是無塵室效果的其他各項(xiàng)檢測的前提，這項(xiàng)檢測的目的是為了明確單向流無塵室工作區(qū)的平均氣流通度及其均勻性。 1）室內(nèi)潔凈度的檢測：潔凈度的檢測是為了確定潔凈環(huán)境可達(dá)到的空氣潔凈度級別，可采用粒子計(jì)數(shù)器檢測。 2）自凈時(shí)間的檢測：通過確定自凈時(shí)間，查明潔凈室內(nèi)部發(fā)生污染時(shí)恢復(fù)其原有潔凈度的能力。 3）照度的檢測：照度檢測的目的是為了判明潔凈室的照度水平和照度的均勻性。 4）振動(dòng)的檢測：振動(dòng)檢測的目的是為了判明無塵室各表明的振動(dòng)幅度。 5）溫、濕度的檢測：溫、濕度檢測的目的是把溫度、濕度調(diào)整到一定限度內(nèi)的能力。其內(nèi)容包括檢測無塵室的送風(fēng)溫度，檢測有代表性測點(diǎn)的空氣溫度，檢測無塵室中心點(diǎn)的空氣溫度，檢測敏感元件處的空氣度，檢測室內(nèi)空氣相對溫度，檢測回風(fēng)溫度。

萬級凈化車間的潔凈度：潔凈度10000級cleanliness class 10000（P2萬級實(shí)驗(yàn)室即ISO7級）即大于等于0.5μm的塵粒數(shù)大于35000粒／m3 (35粒/L)到小于等于350000粒／m3(350粒／L)；大于等于5μm的塵粒數(shù)大于300粒／m3(0.3粒/L)到小于等于3000粒／m3(3粒/L)。 壓差及溫濕度控制： 1）溫度:干盤管系統(tǒng)控制。 2）濕度:空調(diào)箱調(diào)節(jié)通過感測的信號,控制三通閥開度來調(diào)節(jié)空調(diào)箱盤管進(jìn)水量。 3）正壓:空調(diào)箱調(diào)節(jié),根據(jù)靜壓感測的信號,自動(dòng)調(diào)節(jié)空調(diào)箱馬達(dá)變頻器的頻率,從而調(diào)節(jié)進(jìn)入室內(nèi)的新風(fēng)量。