需要清洗的工作區(qū)地面應(yīng)當(dāng)有坡度，不積水，在處設(shè)置潔凈地漏。進(jìn)風(fēng)口距地面高度不少于2米，附近不得有污染源。采用紫外線的，紫外線燈的強(qiáng)度不得小于70微瓦/平方厘米，并按照30瓦/10平方米設(shè)置潔凈室(區(qū))的溫度和相對(duì)濕度是否與化妝品生產(chǎn)工藝要求相適應(yīng),無(wú)特殊要求時(shí)，溫度是否控制在18～26℃,相對(duì)濕度是否控制在45%～65%。

由于工藝的更新，部分車間將在此次改造中改建成潔凈車間。此部分雖然位于單層廠房處。但其上部約有4.5米的空間可用作管道層。下部也可改造成有1.5米深的回風(fēng)層.潔凈室布置廠房中心部，四周無(wú)外墻。結(jié)合工藝和改造工程的需要，周圍布置了產(chǎn)品倉(cāng)庫(kù)，走道，機(jī)房等。

風(fēng)系統(tǒng)：新風(fēng)經(jīng)洗凈，初過(guò)濾，中過(guò)濾與回風(fēng)混合后進(jìn)人空凋器，空凋器按潔凈車間的熱、濕負(fù)荷需求處理約20％的循環(huán)風(fēng)量，空調(diào)器出風(fēng)與經(jīng)循環(huán)風(fēng)機(jī)箱的回風(fēng)再次混合至出風(fēng)溫度，回風(fēng)經(jīng)潔凈室專用回風(fēng)地板，通過(guò)1.5米深的回風(fēng)層，回至空調(diào)器/循環(huán)風(fēng)機(jī)箱。

水系統(tǒng)：由新設(shè)的二次泵將二次冷水在空調(diào)器、冷水槽之間循環(huán)。

無(wú)塵車間是指操控產(chǎn)品(如硅片)所暴露的大氣的清潔度和溫度濕度，以便產(chǎn)品可以在良好的環(huán)境中出產(chǎn)和制造。這個(gè)環(huán)境空間的設(shè)計(jì)和制作進(jìn)程可以稱為凈化工程。

針對(duì)無(wú)塵車間凈化空調(diào)體系的加濕問(wèn)題，有許多常用的加濕辦法，包括噴水、濕膜、高壓噴霧超聲波等水加濕。這些加濕辦法歸于等焓加濕進(jìn)程。