這類潔凈室的潔凈等級也有1～9級，氣流組織形式有單向流、非單向流、混分流、矢量流，根據(jù)車間的情況和生產(chǎn)工藝要求，選用不同的氣流組織。其中1～5級氣流流型為單向流或混合流，風(fēng)速0.2～0.45m/s；6級氣流流型為非單向流，換氣次數(shù)50～60次/h；7級氣流流型為非單向流，換氣次數(shù)15～25次/h；8～9級氣流流型為非單向流，換氣次數(shù)10～15次/h。

這類潔凈室，車間面積都是比較大的，在生產(chǎn)過程中會有一些化工物質(zhì)產(chǎn)生。對于這樣的空氣凈化系統(tǒng)的設(shè)計中采用就地解決的方案，還可以對一些排放物進行能源回收，對這類潔凈室盡可能采取比較節(jié)能的設(shè)計方案。

將已鋪有營養(yǎng)瓊脂培養(yǎng)基的培養(yǎng)皿放在指定區(qū)域距地面約1米的規(guī)定處(一般每10平方米放置一個平皿)，在空氣中暴露30分鐘，采集沉降菌，蓋好平皿蓋兒，置30-35℃培養(yǎng)箱內(nèi)培養(yǎng)48小時，取出計數(shù)，車間內(nèi)應(yīng)為操作狀態(tài)。檢測沉降菌數(shù)量，每碟小于或等于10個，便能達到10萬級凈化車間標(biāo)準。

一般來說，沉降菌法監(jiān)測每月一次便可。凈化車間工程常用的儀器有溫濕度表、溫濕度計、數(shù)顯風(fēng)速儀、紅外溫度計、壓差計、多功能聲級計、粒子計數(shù)器、風(fēng)量儀等，它們是常規(guī)的實時檢測設(shè)備，幫助檢測是否達到10萬級凈化車間標(biāo)準。