國內(nèi)外關(guān)于ITO廢靶材的資源化利用和無害化處置技術(shù)的相關(guān)研究較多，主要可分為濕法、火法以及火濕法聯(lián)合三大類。濕法類主要的提取方式為鹽酸浸出，浸出液經(jīng)氧化法或使用鋁粉、鋅粉等分離銦錫后再置換得到粗銦，該方法的缺點是銦錫分離率低，氧化錫渣等中含銦約1%～2%，銦直收率﹤97%。

為了進(jìn)一步極限化的提高銦錫的收率，進(jìn)一步簡化工序，提升生產(chǎn)效率，減少環(huán)境污染，此次在基于氯化錫具有相對較低沸點的特性的基礎(chǔ)上，設(shè)計了“鹽酸浸出—蒸餾分離銦錫—鋅或鋁置換銦—蒸出錫提純制五水氯化錫/蒸出酸回用”的技術(shù)方案，并進(jìn)行了系統(tǒng)的試驗驗證。

采用蒸餾法進(jìn)行銦錫的分離及資源化試驗，在油浴溫度132 ℃左右，蒸餾5 h左右，可得到滿意的銦、錫分離效果及理想的銦錫回收率；本試驗工藝可得到99.97%純度的金屬銦產(chǎn)品的同時，還可繼續(xù)生產(chǎn)高品質(zhì)的副產(chǎn)品五水氯化錫。蒸餾過程初期蒸出的鹽酸經(jīng)冷凝回收后回用至鹽酸浸出工序，節(jié)約酸堿中和成本的同時實現(xiàn)了清潔生產(chǎn)。

ITO靶材生產(chǎn)所消耗的銦錠占全球銦消費總量的70%左右，其它包括電子半導(dǎo)體領(lǐng)域、合金和焊料領(lǐng)域、研究行業(yè)。全球預(yù)估銦儲量僅5萬噸，其中可開采部分僅有50%。