產品特點

1.該設備生長溫度更低

2.使用滑軌爐實現快速升溫和降溫，沉積速率快

3.設備輝光均勻等效，均勻生長，成膜質量好

4.支持外部真空規(guī)和壓力變送器

5.支持智能進氣，根據需要設定不同的溫度，自動進氣，進氣定時間到后自動停止進氣

6.支持云端數據存儲，隨時查看數據

7.支持爐膛移動速度調節(jié)

8.支持射頻電源根據外部工況條件自動啟動停止

9.支持壓力恒定，壓力可以設定

10.支持超壓保護，大壓力值可以設定，超過后系統自動進入保護