209E與209D等之不同在于209E表示單位增加了公制單位，超凈間等級以‵M′字頭表示，如M1、M1.5、M2.5、M3…..依此類推，配合國際公制單位之標準化，M字母后之阿拉伯數(shù)目字是以每立方公尺中>=0.5μm之微塵粒子數(shù)目字以10的冪次方表示，取指數(shù)為之，若微塵粒子數(shù)介于前后二者完全冪次方之間，則以1.5、2.5、3.5….表示。

空氣由空調箱經(jīng)風管與超凈間內之空氣過濾器(HEPA)進入超凈間，并由超凈間兩側隔間墻板或高架地板回風。氣流非直線型運動而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于超凈間等級1,000-100,000級。

并裝局部超凈間(Clean Spot)：將超凈間等級10,000~100,000之亂流超凈間內之產(chǎn)品制程區(qū)的潔凈度等級提高為10~1000級以上，以為生產(chǎn)之用；潔凈工作臺、潔凈工作棚、潔凈風柜即屬此類。

潔凈工作臺：等級Class 1~100級。

潔凈工作棚：為在亂流式之超凈間空間內以防靜電之透明塑料布圍成一小空間，采用獨立之HEPA或ULPA及空調送風機組而成為一較高級之潔凈空間，其等級為10~1000級，高度在2.5米左右，覆蓋面積約10m2以下，四支支柱并加裝活動輪，可為彈性運用。