除了凈化技術(shù)，電子廠凈化車間還需進行空氣流動管理。這一管理手段主要包括空氣流量控制、氣流方向控制和氣壓控制。空氣流量控制可以確保車間內(nèi)的空氣量充足，滿足生產(chǎn)所需。氣流方向控制可以使空氣從潔凈區(qū)域流向不潔凈區(qū)域，有效避免交叉污染。氣壓控制則可以控制車間內(nèi)的氣壓差，防止外界的空氣進入凈化區(qū)域?？諝饬鲃庸芾淼暮侠響?yīng)用，可以保持車間內(nèi)空氣的潔凈狀況。

微粒控制十分嚴格、要求控制0.02μm甚至更小粒徑ISO1級或更嚴格。

高純物質(zhì)，包括高純水、高純氣體高純化學品的供應(yīng)、輸送。

對微振控制十分嚴格、需制定切實可行的規(guī)定

對防靜電、電磁兼容等

大體量、多層單向流潔凈室，二層/三層布置數(shù)萬㎡

丙類生產(chǎn)的電子工業(yè)潔凈廠房的潔凈室（區(qū)），在關(guān)鍵生產(chǎn)設(shè)備設(shè)有火災(zāi)報警和滅火裝置以及回風氣流中設(shè)有靈敏度嚴于0.01%obs/m的高靈敏度早期火災(zāi)報警探測系統(tǒng)后，其每個防火分區(qū)的允許建筑面積可按生產(chǎn)工藝要求確定。

凈化車間工程凈化系統(tǒng)不進行清洗，均會影響空氣潔凈等級。普通空調(diào)系統(tǒng)不是一次安裝完，多次安裝必然有一些污染物留在風管之中，如果不清理干凈，就會直接影響空氣的清潔度，所以在安裝過程中要邊施工邊清洗，并在驗證之前進行24小時空吹。