高低溫真空探針臺

真空探針臺可實現(xiàn)高真空環(huán)境下的高溫及低溫電學性能測量，真空腔一體成型，具有設計合理，真空度穩(wěn)定，溫控精度及機械精度高等特點；根據(jù)測試溫度范圍不同，可單選高溫或低溫等相應組件，溫度可達到400℃，低溫部分采用液氮或液氦冷卻組件，溫度可低至-190℃，；真空系統(tǒng)可選機械泵或分子泵系統(tǒng)，真空度可達到10-3Torr或10-6Tor。

高低溫真空探針臺應用：

可應用于低溫或高溫真空環(huán)境下被測樣品的電學性能測試分析，如：半導體/微電子，電子，機電，物理，化學，材料，光電，納米，微機電/MEMS，生物芯片，航空航天等科學研究領域，以及IC設計/制造/測試/封裝、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等生產(chǎn)制造領域。

高低溫真空探針臺參數(shù)

真空腔體

腔體材質

304不銹鋼

上蓋開啟

鉸鏈側開

加熱臺材質

304不銹鋼

內腔體尺寸

φ160x90mm

觀察窗尺寸

Φ70mm

加熱臺尺寸

φ60mm

觀察窗熱臺間距

75mm

加熱臺溫度

﹣190~400℃

加熱臺溫控誤差

±1℃

真空度

機械泵≤10Pa 分子泵≤10-3Pa

允許正壓

≤0.1MPa

真空抽氣口

KF25真空法蘭

氣體進氣口

3mm-6mm卡套接頭

電信號接頭

SMA轉BNC X 4

電學性能

絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質耐壓 ≤500V

探針數(shù)量

4探針

探針材質

鎢針

探針尖

10μm

探針移動平臺

X軸移動行程

30mm ±15mm

X軸控制精度

≤0.01mm

Y軸移動行程

13mm ±12.5mm

Y軸控制精度

≤0.01mm

Z軸移動行程

13mm ±12.5mm

Z軸控制精度

≤0.01mm

電子顯微鏡

顯微鏡類別

物鏡

物鏡倍數(shù)

0.7-4.5倍

工作間距

90mm

相機

sony 高清

像素

1920※1080像素

圖像接口

VGA

LED可調光源

有

顯示屏

8寸

放大倍數(shù)

19-135倍,視場范圍15×13-2.25×1.7mm，小可分辨0.08mm