螺桿真空泵是一種利用一對(duì)螺桿在泵殼中作同步高速反向旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生吸氣和排氣作用的抽氣設(shè)備，是油封式真空泵的更新?lián)Q代產(chǎn)品。在半導(dǎo)體芯片外延生長(zhǎng)過(guò)程中，需要的真空環(huán)境來(lái)確保外延層的質(zhì)量和性能在光刻過(guò)程中，需要將光刻機(jī)中的晶圓置于高真空環(huán)境下，以確保光刻膠的均勻涂布、曝光的準(zhǔn)確性以及顯影的效果可以為刻蝕設(shè)備提供穩(wěn)定的真空源，確保刻蝕氣體能夠有效地與晶圓表面的材料發(fā)生反應(yīng)，實(shí)現(xiàn)的刻蝕