?極限環(huán)境控制?

? 雙真空梯度：先抽至5×10?3Pa清除游離氣體，再注入N?至0.3MPa增強(qiáng)熱傳導(dǎo)，熱交換效率提升240%

? 微粒監(jiān)控系統(tǒng)：實(shí)時(shí)顯示≥0.1μm顆粒數(shù)，自動(dòng)觸發(fā)FFU自清潔（潔凈度維持ISO Class4標(biāo)準(zhǔn)）

?智能工藝系統(tǒng)?壓力-溫度耦合編程：支持8組壓力曲線（0-0.5MPa）與溫度曲線（RT-200℃）的同步控制

軍工級(jí)密封：金屬波紋管閥組確保1000次開閉后漏率仍＜5×10??Pa·m3/s

?能效突破?

‖ 對(duì)比項(xiàng) ‖ 傳統(tǒng)設(shè)備 ‖ 本設(shè)備 ‖

‖-------‖---------‖-------‖

‖ 升溫至150℃ ‖ 48分鐘 ‖ 19分鐘 ‖

‖ 單位能耗 ‖ 3.2kW·h/kg ‖ 1.05kW·h/kg ‖

?材料適應(yīng)性?

? 航天復(fù)合材料：碳纖維預(yù)浸料固化孔隙率≤0.3%（GB/T 3365標(biāo)準(zhǔn)）

? 醫(yī)用植入體：鈦合金熱處理后氧增量控制在15ppm以內(nèi)

?驗(yàn)證數(shù)據(jù)?半導(dǎo)體封裝：150℃/0.2MPa條件下膠水流淌性誤差±0.15mm

納米涂層：干燥后膜厚均勻性CV值＜1.8%（測(cè)量點(diǎn)距≤5mm）